Inatumika kwa sensor ya kawaida ya shinikizo la reli 06E906051K

1. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo, inayojumuisha:

Kutoa substrate ya semiconductor, ambayo safu ya kwanza ya dielectric, safu ya kwanza ya dielectric na safu ya pili ya dielectric huundwa kwenye substrate ya semiconductor.

Sahani ya chini ya elektroni kwenye safu ya kwanza ya dielectric ya kuingiliana, elektroni ya kwanza ya kuheshimiana iko kwenye safu sawa na sahani ya elektroni ya chini na imegawanywa kando.

Tabaka za kuunganisha;

Kutengeneza safu ya dhabihu juu ya sahani ya chini ya polar;

Kutengeneza sahani ya elektroni ya juu kwenye safu ya kwanza ya dielectric ya kuingiliana, safu ya unganisho ya kwanza na safu ya dhabihu;

Baada ya kuunda safu ya dhabihu na kabla ya kuunda sahani ya juu, kwenye safu ya kwanza ya unganisho

Kutengeneza Groove ya Uunganisho, na kujaza Groove ya Uunganisho na sahani ya juu ili kuungana kwa umeme na safu ya kwanza ya unganisho; Au,

Baada ya kuunda sahani ya elektroni ya juu, vifurushi vya kuunganisha huundwa kwenye sahani ya juu ya elektroni na safu ya kwanza ya unganisho, ambayo

Kutengeneza safu ya kusisimua inayounganisha sahani ya juu ya elektroni na safu ya kwanza ya unganisho kwenye Groove ya Uunganisho;

Baada ya kuunganisha kwa umeme sahani ya juu na safu ya kwanza ya unganisho, kuondoa safu ya dhabihu kuunda cavity.

2. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo kulingana na madai 1, ambayo kwenye safu ya kwanza

Njia ya kuunda safu ya dhabihu kwenye safu ya dielectric ya kuingiliana inajumuisha hatua zifuatazo:

Kuweka safu ya vifaa vya kujitolea kwenye safu ya kwanza ya dielectric;

Kuweka safu ya vifaa vya kujitolea kuunda safu ya dhabihu.

3. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo kulingana na madai 2, ambayo picha za picha na uchoraji hutumiwa.

Safu ya nyenzo ya dhabihu imeundwa na mchakato wa kuorodhesha.

4. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo kulingana na madai 3, ambayo safu ya dhabihu

Nyenzo ni kaboni ya amorphous au germanium.

5. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo kulingana na madai 4, ambayo safu ya dhabihu

Nyenzo ni kaboni ya amorphous;

Kuweka gesi zinazotumiwa katika mchakato wa kuweka safu ya vifaa vya kujitolea ni pamoja na O2, CO, N2 na AR;

Vigezo katika mchakato wa kuweka safu ya vifaa vya dhabihu ni: mtiririko wa O2 ni 18 SCCM ~ 22 SCCM, na kiwango cha mtiririko wa CO ni 10%.

Kiwango cha mtiririko ni kati ya 90 SCCM hadi 110 SCCM, kiwango cha mtiririko wa N2 huanzia 90 SCCM hadi 110 SCCM, na kiwango cha mtiririko wa AR.

Masafa ni 90 SCCM ~ 110 SCCM, anuwai ya shinikizo ni 90 mTOR ~ 110 mTOR, na nguvu ya upendeleo ni

540W ～ 660W。