Inatumika kwa sensor ya shinikizo la mafuta ya Passat 06E906051K

1. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo, inayojumuisha:

Kutoa substrate ya semiconductor, ambayo safu ya kwanza ya dielectri ya interlayer, safu ya kwanza ya dielectri ya interlayer na safu ya pili ya dielectri ya interlayer huundwa kwenye substrate ya semiconductor.

Sahani ya elektrodi ya chini katika safu ya kwanza ya dielectri ya interlayer, elektrodi ya kwanza ya kuheshimiana iko kwenye safu sawa na sahani ya elektrodi ya chini na iliyotengana.

Kuunganisha tabaka;

Kuunda safu ya dhabihu juu ya sahani ya chini ya polar;

Kuunda sahani ya juu ya electrode kwenye safu ya kwanza ya dielectri ya interlayer, safu ya uunganisho wa kwanza na safu ya dhabihu;

Baada ya kutengeneza safu ya dhabihu na kabla ya kutengeneza sahani ya juu, katika safu ya kwanza ya uunganisho

Kuunda groove ya uunganisho, na kujaza groove ya uunganisho na sahani ya juu ili kuunganisha umeme na safu ya kwanza ya uunganisho; Au,

Baada ya kuunda sahani ya juu ya elektroni, miiko ya kuunganisha huundwa kwenye sahani ya juu ya elektrodi na safu ya kwanza ya unganisho, ambayo.

Kuunda safu ya conductive inayounganisha sahani ya juu ya electrode na safu ya kwanza ya uunganisho kwenye groove ya uunganisho;

Baada ya kuunganisha kwa umeme sahani ya juu na safu ya kwanza ya kuunganisha, kuondoa safu ya dhabihu ili kuunda cavity.

2. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo kulingana na madai 1, ambayo katika safu ya kwanza

Njia ya kuunda safu ya dhabihu kwenye safu ya dielectri ya interlayer inajumuisha hatua zifuatazo:

Kuweka safu ya nyenzo za dhabihu kwenye safu ya kwanza ya dielectri ya interlayer;

Kuunda safu ya nyenzo za dhabihu kuunda safu ya dhabihu.

3. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo kulingana na madai 2, ambayo picha na kuchonga hutumiwa.

Safu ya nyenzo za dhabihu ina muundo wa mchakato wa etching.

4. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo kulingana na madai 3, ambayo safu ya dhabihu

Nyenzo ni kaboni ya amofasi au germanium.

5. Njia ya kuunda sensor ya shinikizo kulingana na madai 4, ambayo safu ya dhabihu

Nyenzo ni kaboni ya amofasi;

Gesi za etching zinazotumiwa katika mchakato wa kuweka safu ya nyenzo za dhabihu ni pamoja na O2, CO, N2 na Ar;

Vigezo katika mchakato wa kuweka safu ya nyenzo za dhabihu ni: safu ya mtiririko wa O2 ni 18 SCCM ~ 22 SCCM, na kiwango cha mtiririko wa CO ni 10%.

Kiwango cha mtiririko ni kati ya SCCM 90 hadi 110, kiwango cha mtiririko wa N2 ni kati ya SCCM 90 hadi 110 SCCM, na kiwango cha mtiririko wa Ar.

Masafa ni 90 SCCM ~ 110 SCCM, kiwango cha shinikizo ni 90 mtor ~ 110 mtor, na nguvu ya upendeleo ni

540w ~ 660w.